产品特点
最小检测元件：>50μm
检测速度：3FOV/s（解析度2.4-4μm）
可量化输出偏移量、旋转角度、共线性等值
可以据工艺定制光源
最小检测元件：>200μm
检测速度≥5FOV/s（解析度4-12μm）
可量化输出尺寸、间距、共线性等值
最小检测焊盘：>50μm
四边检测速度：＜20s/pcs（解析度2.4μm）
可量化输出尺寸、涨缩值、间距、共线性等值
