产品特点
最小检测元件:>200μm
检测速度≥5FOV/s(解析度4-12μm)
可量化输出尺寸、间距、共线性等值
可以据工艺定制光源
可检测项目
漏固、固偏、固反、固重、杂物、短路、
芯片相连、共线性等缺陷