产品特点
最小检测元件:>50μm
检测速度:3FOV/s(解析度2.4-4μm)
可量化输出偏移量、旋转角度、共线性等值
可以据工艺定制光源
可检测项目
漏固、固偏、固反、固重、杂物、未压平、
芯片相连、短路、共线性等缺陷